大家好,朱煜,关于朱煜的简介很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 朱煜,男,1965年1月出生,2001年毕业于中国矿业大学,博士学历,2004年起在清华大学任教。现为清华大学机械工程系长聘教授、博士生导师。
2、 担任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长、技术副总师,装备组、光刻机组组长。出版学术专著2部,发表论文170余篇,申请国家发明专利180余项(授权110余项、12项美国专利)。
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