2nm光刻机要上亿元,具体数值要根据品牌确定,最贵的可能需要20亿左右。光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
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